中小MEMS企业创新所面临的产品中试困境，制约了我国MEMS产业的发展。日前，中国-新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会，苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线的首个产品正式交付客户。这也意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线正式运营，该中试线的投产使用将为我国中小MEMS企业的发展带来福音。

　　填补中国MEMS产业创新链空白

　　据了解，该中试线由苏州纳米科技发展有限公司建设，超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米，其中超净工艺场地5200平方米，该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目，也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”的支持。

　　素以集成电路产业闻名中外的苏州，缘何投资打造6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线？上海矽睿科技有限公司总经理谢志峰一语道破“天机”，“中试平台（线）能够支持中小公司创新”。谢志峰是半导体产业领域的专家，也是国内知名产业平台IC咖啡的发起人之一，曾供职于英特尔、新加坡特许半导体、上海先进半导体等知名公司。

　　6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线的推动者、苏州纳米科技发展有限公司负责人、苏州市集成电路行业协会秘书长张希军一直积极推动中试线建设，他对MEMS中试线的产业意义有更深层次的思考，认为中试线不仅是中小企业的创新平台，更弥补了中国MEMS产业创新链的空白。

　　“我国中小MEMS企业发展面临很多困难，其中一个关键的难题是产品的工程化与中试生产，规模代工厂门槛较高，高校院所的实验室工程化能力较弱或开放度不够，产品的工程化中试已成为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈。”张希军告诉记者。

　　智恒（厦门）微电子有限公司总经理郑政也表达了类似的看法，“MEMS领域的Fab（代工厂）和大的封装厂费用门槛较高，小公司往往很难承受”。郑政是2012年国家千人计划专家，长期从事基于MEMS和集成电路的智能传感器的研究、开发及产业化工作。

　　张希军的“瓶颈说”形象地揭示了我国MEMS产业领域中小企业的生存现状。由于我国MEMS产业的创新链不完善，缺乏工业级中试线的支撑，科研团队在研发做出样品后又无法直接进入代工厂，难以实现渐进式的规模化成长。

　　据了解，苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品，产品样品测试结果良好，基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。

　　“我们的中试线，与科研机构的概念验证、单步工艺能力不同，主要开展中试和小批量生产业务，前端与产品样品衔接，后端与规模代工厂衔接，是一个完全工业级别的中试线，不仅可以帮助中小企业创新，还可以促进他们的规模化发展。”苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线运营总监游家杰告诉记者。

　　苏州MEMS产业异军突起

　　当前，我国正处在MEMS产业格局形成、产业化加速发展的时期，产业资源集中分布在研发起步早、研发资源丰富、掌握技术前沿的环渤海湾（北京、天津、石家庄）地区，产品企业集聚、产业链健全、商业化环境优良的长三角（上海、苏州、无锡）地区，市场驱动灵活、集成制造能力强的珠三角（深圳）地区。

　　从全国范围看，江苏MEMS产业资源集聚度最高，正成为国内MEMS创新与产业化最具吸引力的区域，MEMS产业资源主要集聚在南京、无锡、苏州三个城市。苏州在MEMS产业布局多年，目前形成了MEMS传感器的芯片设计、研发、中试、封装测试全覆盖的产业特色，涌现了晶方半导体、敏芯、明皜等一批业界知名公司。

　　苏州MEMS产业获得了全国产业界的关注。中国国际纳米技术产业发展论坛暨纳米技术成果展连续四年举办“传感器与MEMS产业化国际研讨会”，英飞凌、美国应用材料、霍尼韦尔、飞思卡尔、台积电等众多业界知名公司参加。中国科学院电子学研究所在苏州纳米城启动建设苏州研究院，西安交通大学、山西中北大学分别在苏州纳米城设立MEMS产业领域的研究生联合培养基地。2014年5月，MEMS产业发展研讨会在苏州纳米城召开，全国MEMS领域知名专家悉数到场。

　　“发展MEMS产业，既要看清楚我们的优势，又要找准自身的不足。6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线只是苏州MEMS产业发展的新起点，要构筑MEMS产业生态圈，我们还需要全国的产业资源，来突破资源限制、人才限制、技术限制。”张希军长期担任苏州市集成电路行业协会秘书长，和半导体企业打了多年交道，对产业发展的核心要素有比较深刻的了解。

　　据了解，苏州纳米科技发展有限公司与东南大学MEMS教育部重点实验室主任、国家“863”计划MEMS重大专项总体组专家黄庆安教授合作，开展对全国MEMS资源的梳理，希望全面了解国内MEMS产业发展现状。黄庆安教授认为，智慧终端、物联网、智慧医疗等产业的发展，带动了MEMS传感器的市场需求，未来将成为MEMS应用的重要领域。

　　面对MEMS产业发展新的历史机遇，苏州积极推动了与全国MEMS产业资源的交流与合作。2013年初，苏州纳米科技发展有限公司与中国科学院微电子学研究所、江苏物联网研究发展中心等单位联合发起成立了“MEMS创新与应用协同体”，通过整合MEMS产业优质资源，建立MEMS产业创新协同体系，逐步构建起MEMS产业化生态系统；2014年9月，联合国内40多家MEMS行业龙头企业、顶级科研院所、知名高校共同筹建“中国半导体行业协会MEMS分会”，旨在构建MEMS设计、研发、加工制造、封装测试等全产业链联动关系，实现以MEMS产品为主线的产业资源垂直整合，推动我国MEMS产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化，加速突破我国MEMS产业规模化发展瓶颈。

　　中国半导体行业协会执行副理事长兼秘书长徐小田认为，“成立中国半导体行业协会MEMS分会，就意味着全国MEMS产业资源有了自己的组织，有了表达自身发展诉求的平台，今后更能够推动中国MEMS产业的快速发展。”

　　中小MEMS企业是中国MEMS产业最活跃的创新主体，承载了大量的高端人才和前沿技术。苏州MEMS中试线填补了产业创新链的空白，有力地支撑了中小MEMS企业工程化中试，有利于加速相关产业资源的集聚，也必将对国内MEMS产业的发展起到巨大推动作用。