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微电子仪器设备研发中心
作者: 发表时间:2017年04月27日

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  定位

  以等离子体、光子检测技术为核心方向,研发信息领域的新原理仪器设备,建立融合仪器设备为工艺为一体的完善研究开发体系,与国内高校企业建立产学研联合体,形成国内具有重要影响力,国际相关行业竞争态势的高端设备研发平台。

  研究方向

  新型集成电路制造与测试装备、新型太阳能电池制造技术和装备、高效率LED制造技术和装备、光学检测装备、MEMS加工技术、装备及关键的射频功率源系统技术。

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