微电子仪器设备研发中心
作者： 发表时间：2017年04月27日
定位
以等离子体、光子检测技术为核心方向，研发信息领域的新原理仪器设备，建立融合仪器设备为工艺为一体的完善研究开发体系，与国内高校企业建立产学研联合体，形成国内具有重要影响力，国际相关行业竞争态势的高端设备研发平台。
研究方向
新型集成电路制造与测试装备、新型太阳能电池制造技术和装备、高效率LED制造技术和装备、光学检测装备、MEMS加工技术、装备及关键的射频功率源系统技术。
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